一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器及其制备方法，传感器包括三个自上而下依次分布的第一、第二和第三电极，第一电极设有透气孔，其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底；第二电极由中心设引出孔的引出极构成；第三电极由板面设盲孔的收集极构成；三个电极通过绝缘支柱隔离。方法包括：制作三个电极的掩模板、清洗硅片，溅射金属掩模；刻蚀金属掩模和图形、去除掩模、清洗硅片；溅射多层金属膜，制作金焊盘；丝网印刷绝缘浆料或粘接聚合物绝缘条；在第一电极的基底上生长或丝网印刷碳纳米管薄膜，再将基底粘接在第一电极内侧表面；将三电极粘合，键合电极引线，封装传感器。该传感器检测气体线性度好，准确度高，适合于推广使用。

主权项

一种微纳米碳纳米管薄膜三电极传感器，其特征在于：包括三个自上而下依次分布的第一电极、第二电极和第三电极，所述第一电极由内表面粘接有基底以及设有透气孔的电极构成，所述基底上分布着碳纳米管薄膜；第二电极由中心设有引出孔的引出极极板构成；第三电极由板面设有盲孔的收集极构成；该三个电极分别通过绝缘支柱相互隔离；所述绝缘支柱分布于三个电极内端面两侧。