放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法

摘要

本发明涉及放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜和微透镜以及它们的形成方法。本发明涉及放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有：[A]含有(a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种以及(a2)具有选自环氧乙烷基和氧杂环丁烷基中的至少一种基团的不饱和化合物而成的不饱和化合物的共聚物；[B]1，2-重氮醌化合物；和[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物。上述放射线敏感性树脂组合物具有高的放射性灵敏度，具有在显影工序中即使超过最佳显影时间也能够形成良好图案形状的显影余地，可以容易地形成密合性优异的层间绝缘膜或微透镜。

主权项

1.放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有[A]、[B]和[C]，[A]不饱和化合物的共聚物：100重量份，所述不饱和化合物含有：(a1)选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种、以及(a2)具有环氧乙烷基的不饱和化合物；[B]1，2-重氮醌化合物：5～100重量份；和[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物：1～40重量份，其中，[C]具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的化合物是(c1)具有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的不饱和化合物和(c2)没有脂环式环氧乙烷基且没有羧基的不饱和化合物的共聚物，或者是下式(7)表示的化合物，式(7)中的a、b、c和d各自独立地表示1。