Plasma generation apparatus which can estimate whether substrate is correctly loaded or not and estimating method thereof
摘要
<p>본 발명에 따르면, 플라즈마 발생장치에서 메인 RF전원을 인가하기 전에 기판안치대에 기판이 제대로 안치되었는지 여부를 자동으로 확인할 수 있다. 따라서 기판이 틀어졌을 때 발생하는 아킹현상이나 기판안치대 표면의 증착현상을 방지할 수 있으므로, 기판안치대의 수명단축을 방지할 수 있고 장치의 공정재현성을 확보할 수 있다.</p>
