石英玻璃坩埚及其制造方法

摘要

本发明提供一种石英玻璃坩埚及其制造方法，其可充分兼顾促进硅单晶提拉时的内表面的结晶化与维持坩埚的强度。石英玻璃坩埚10的特征在于：在至少直体部(10A)的自坩埚内表面起算的0.3mm～3mm的区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近坩埚内表面则越大，而越远离坩埚内表面则越小。该石英玻璃坩埚是通过如下方法制造，即，在将沿着旋转的塑模的内表面堆积的石英粉加热熔融而使之玻璃化来制造玻璃坩埚的方法中，可在熔融时或熔融结束后立即导入包含水蒸汽的空气，或者可在熔融冷却后再次在包含水蒸汽的环境下进行热处理。

主权项

一种石英玻璃坩埚，其特征在于包含直体部、角部及底部；且在至少所述直体部的一部分中，自坩埚的内表面起算的0.3mm～3mm区域中所含的OH基浓度以及OH基浓度梯度越接近所述内表面则越大，越远离所述内表面则越小，在自所述内表面起算的0.3mm～0.5mm区域中所含的所述OH基浓度为115ppm以上，且在自所述内表面起算的0.3mm～0.5mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为100ppm/mm以上，在自所述内表面起算的1.0mm～3.0mm区域中所含的所述OH基浓度梯度为25ppm/mm以下。