带有交错壁结构的晶圆容器

摘要

本发明涉及一种晶圆容器，包含套在一起的底座和盖子。该底座包括由内壁和外壁组成的交错壁结构。该交错壁结构布置成主要由外壁区段吸收侧面冲击力。该盖子上的肋条抑制外壁区段弯曲超过内壁直径。该底座上的基准突出物便于该底座与该盖子的对准。

主权项

一种晶圆容器，包括：底座，其中，所述底座的圆形区域具有包含多个角扇区的圆周；壁结构，其包括多个内壁区段和多个外壁区段，其中内壁区段没有与外壁区段连接，内壁区段与外壁区段以交错的形式交替，每个内壁区段都与每个外壁区段沿径向分隔开一段空间，所述壁结构垂直于所述底座，每个内壁区段都位于所述底座的相应第一弧上，每个外壁区段都位于所述底座的相应第二弧上，其中，所述第一弧的弧长的0.1％至25％位于与所述第二弧的弧长相同的角扇区中；以及盖子，其与所述底座接合，以便形成闭合的容器。