电化学电镀设备和方法

摘要

本发明公开了一种电化学电镀设备和方法，其中电镀设备包括：机械手臂，用于晶片的运输；电镀槽，用于对晶片进行电镀；清洗槽，用于对电镀后的晶片进行清洗；控制装置，用于对机械手臂、电镀槽及清洗槽进行控制，且当对晶片进行电镀的电镀时间小于清洗时间时，控制装置用于对晶片在电镀槽内的停留时间进行调整，从而延长晶片在电镀槽内的停留时间。本发明通过对电镀设备和方法进行改进，提高了电镀设备的利用率。

主权项

一种电化学电镀设备，包括：机械手臂，用于晶片的运输；电镀槽，用于对晶片进行电镀；清洗槽，用于对电镀后的晶片进行清洗；其特征在于，还包括控制装置，所述控制装置包括：执行装置，用于控制机械手臂、电镀槽及清洗槽；判断装置，用于根据所要电镀形成的金属层，判断晶片进行电镀所需的电镀时间和清洗时间的大小关系；调整装置，当所述电镀时间小于所述清洗时间，则向所述执行装置发送延长电镀槽停留时间信号,以延长晶片在电镀槽内的停留时间。