太阳能电池的制造方法

摘要

本发明提供一种太阳能电池的制造方法，其能够提高薄膜太阳能电池的背面电极的特性。在形成薄膜太阳能电池的太阳能电池的制造方法中，在薄膜太阳能电池的与光入射侧相反的一侧的面上形成透明电极层和金属层的叠层结构作为背面电极层时，设置对一个基板(10)同时形成透明电极层和金属层的期间。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，其在基板上形成薄膜太阳能电池，该太阳能电池的制造方法的特征在于：在所述薄膜太阳能电池的与光入射侧相反的一侧的面上形成透明电极层和金属层的叠层结构作为背面电极层时，采用串列型溅射装置，使所述基板依次移动到所述透明电极层的反应室、所述金属层的反应室，设置对一个所述基板同时形成所述透明电极层和所述金属层的期间。