一种半导体检测系统和回刻深度的测量方法

摘要

本发明公开了一种半导体检测系统和回刻深度的测量方法，设置一标准模板，接着对待检对象进行图像采集，获取实际情况下的图像，并与标准模板进行比较，从而判断出回刻后的深度状况，该方法简便易行，有利于在早期发现缺陷，从而能够大大的节省成本，并能够较好的控制产出器件的良率。

主权项

一种半导体检测系统，其特征在于，包括：图像采集单元，用于采集待检对象的图像；及数据处理单元，所述数据处理单元包含一标准模板，所述数据处理单元接收由图像采集单元采集的图像并将所述图像与标准模板相比较；其中，所述标准模板包括第一区域及包围所述第一区域的第二区域。