发明名称 旋转阳极的具有微结构的光轨道
摘要 本发明涉及一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),该光轨道局有存在于其表面(2)上的微结构(4),其中,所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。在一种用于制造这种旋转阳极(1)的方法中,借助反应性离子深度蚀刻制造所述的微结构(4)。本发明尤其有利地用于医学的X射线设备。
申请公布号 CN102856144A 申请公布日期 2013.01.02
申请号 CN201210216506.7 申请日期 2012.06.27
申请人 西门子公司 发明人 J.弗罗伊登伯格;S.兰彭舍夫;W.沙夫;S.沃尔特
分类号 H01J35/10(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;A61B6/00(2006.01)I 主分类号 H01J35/10(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 郝俊梅
主权项 一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),所述光轨道具有存在于其表面(2)上的微结构(4),其特征为:所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。
地址 德国慕尼黑