发明名称 | 旋转阳极的具有微结构的光轨道 | ||
摘要 | 本发明涉及一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),该光轨道局有存在于其表面(2)上的微结构(4),其中,所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。在一种用于制造这种旋转阳极(1)的方法中,借助反应性离子深度蚀刻制造所述的微结构(4)。本发明尤其有利地用于医学的X射线设备。 | ||
申请公布号 | CN102856144A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
申请号 | CN201210216506.7 | 申请日期 | 2012.06.27 |
申请人 | 西门子公司 | 发明人 | J.弗罗伊登伯格;S.兰彭舍夫;W.沙夫;S.沃尔特 |
分类号 | H01J35/10(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;A61B6/00(2006.01)I | 主分类号 | H01J35/10(2006.01)I |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 郝俊梅 |
主权项 | 一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),所述光轨道具有存在于其表面(2)上的微结构(4),其特征为:所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。 | ||
地址 | 德国慕尼黑 |