| 发明名称 | 用于硅片制绒的化学处理槽装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，所述内槽连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，所述内槽和所述外槽通过循环泵加压使得所述外槽中的液体回到所述内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。 | ||
| 申请公布号 | CN202643918U | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201220177764.4 | 申请日期 | 2012.04.24 |
| 申请人 | 上澎太阳能科技(嘉兴)有限公司 | 发明人 | 杨华;余义;宋光华;李庄 |
| 分类号 | C30B33/10(2006.01)I;C23F1/08(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人 | 李献忠 |
| 主权项 | 用于硅片制绒的化学处理槽装置，其包括化学处理内槽，所述内槽底部设置有加热器，其特征在于，所述内槽连接一外槽。 | ||
| 地址 | 314031 浙江省嘉兴市秀洲工业园区美盾路333内号2号厂房 | ||