| 发明名称 | 用于实行用于量测资料的通用坐标系统的方法及设备 | ||
| 摘要 | 一种方法包含接收量测报告(metrology report)(260)，该量测报告包含由量测工具(210)所收集的量测数据、关联于该量测数据的位置数据、和关联于该量测工具(210)的背景数据(context data)。由该量测工具(210)所使用的第一坐标系统系根据该背景数据来确定。该位置数据系从该第一坐标系统转换至第二坐标系统，以产生转换的位置数据。该转换的位置数据关联于该量测数据。 | ||
| 申请公布号 | CN101535908B | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN200780041586.4 | 申请日期 | 2007.09.24 |
| 申请人 | 格罗方德半导体公司 | 发明人 | V·桑卡兰;Z·宗;A·德罗兹达-弗雷曼;M·G·麦金太尔 |
| 分类号 | G05B19/042(2006.01)I | 主分类号 | G05B19/042(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人 | 程伟;王锦阳 |
| 主权项 | 一种用于实行用于关联于半导体晶圆制造的量测资料的通用坐标系统的方法，包括：接收量测报告(260)，该量测报告包含由量测工具(210)所收集的量测数据、关联于该量测数据的位置数据和关联于该量测工具(210)的背景数据，其中该位置数据为该量测工具(210)所报告的测量的位置，且该背景数据包含量测工具ID和/或配方ID；根据该背景数据确定由该量测工具(210)所使用的第一坐标系统；将该位置数据从该第一坐标系统转换至第二坐标系统，以产生转换的位置数据；以及将该转换的位置数据关联于该量测数据。 | ||
| 地址 | 英属开曼群岛大开曼岛 | ||