闸阀和使用其的基板处理系统

摘要

本发明提供一种即使一次处理的被处理体的个数增加，也能够缩短阀体的升降距离的闸阀。该闸阀具备：被按压到取出和放入被处理体的多个开口部（61a～61d）的阀体（63）；设置在阀体63）上的按压部（67）；与开口部（61a～61d）的开口面平行地滑动的主滑动部（70）；和凸轮（71），其设置在主滑动部（70）上，包括突起部（72）和从该突起部（72）呈坡状倾斜的倾斜部（73），在阀体（63）与开口部（61a～61d）正对的状态下按压阀体（63）的按压部（67），其中，阀体（63）具有作为打开开口部（61a～61d）的开放部起作用的至少1个缝隙状开口（65a～65c），与缝隙状开口（65a～65c）相邻的部位为闭塞开口部（61a～61d）的闭塞部（66a～66d）。

主权项

一种闸阀，其特征在于，具备：取出和放入被处理体的多个开口部；被按压于所述开口部的阀体；设置在所述阀体的按压部；与所述开口部的开口面平行地滑动的主滑动部；和凸轮，设置在所述主滑动部上，包括突起部和从该突起部呈坡状倾斜的倾斜部，在所述阀体与所述开口部正对的状态下按压所述阀体的按压部，所述阀体具有作为打开所述开口部的开放部起作用的至少一个缝隙状开口，使与所述缝隙状开口相邻的部位成为关闭所述多个开口部的闭塞部。