用于前段工艺制造的原地干洗腔

摘要

本发明提供了一种用于从衬底表面上去除天然氧化物的方法和装置。一方面，该腔包括一个腔体和一个至少部分布置在腔体内并适合在其上支撑衬底的支撑装置。该支撑装置包括至少部分在其中形成并能冷却衬底的一个或多个流体通道。该腔进一步包括布置在腔体上表面的盖装置。该盖装置包括在其间限定了等离子空腔的第一电极和第二电极，其中第二电极适合连接地加热衬底。

主权项

一种衬底支撑装置，包括：一个轴，所述轴具有穿过所述轴设置的真空管道、传热流体管道和气体管道；一个布置在所述轴的第一端上的支撑构件，所述支撑构件具有净化气管道、在所述支撑构件中形成的一个或多个流体通道和在所述支撑构件的上表面中形成的一个或多个槽，其中每个流体通道与所述轴的传热流体管道流体连通并且所述一个或多个槽通过设置在所述轴中的真空管道与真空泵流体连通；围绕所述支撑构件的外圆周设置的环形环，所述环形环在所述支撑构件的外圆周和所述环形环的内直径之间形成环形净化气通道；和   一个其中形成有多个孔的第一电极，所述第一电极被布置在所述支撑构件的上表面上，以使所述多个孔中的每一个与所述一个或多个槽流体连通。