一种PECVD的石英管锁紧装置

摘要

本实用新型公开了一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设在石英管上的密封组件，卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该装置还包括：套设在石英管上的第一锁件，第一锁件包括连接段和可套设在密封组件上的锁紧段，锁紧段上设有可沿卡槽移动的锁柱；套设在石英管上且能够卡设在第一锁件内被限制沿远离密封组件的方向运动的第二锁件，第二锁件能够与密封组件相抵。通过第一锁件的锁柱伸入到卡槽的周向段，实现与第二锁件相抵的密封组件与法兰的锁紧；在拆卸石英管时，只需要将卡槽内的锁柱旋出即可实现对石英管的拆卸，有效降低了操作人员的劳动强度，同时保证了石英管的完整性，提高了石英管的再利用率，节省了成本。

主权项

一种PECVD的石英管锁紧装置，包括设有卡槽（11）的法兰（1）和套设在石英管（5）上的密封组件（2），所述卡槽（11）包括相连通的轴向段和周向段，其特征在于，该石英管锁紧装置还包括：套设在所述石英管（5）上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段（31）和可套设在所述密封组件（2）上的锁紧段（32），所述锁紧段（32）上设有可沿所述卡槽（11）移动的锁柱（33）；套设在所述石英管（5）上且能够卡设在所述第一锁件内被限制沿远离所述密封组件（2）的方向运动的第二锁件（4），所述第二锁件（4）能够与所述密封组件（2）相抵。