防止高纯气体生产装置不需要的停机的系统

摘要

本发明涉及一种防止高纯气体生产装置不需要的停机的系统。本发明提供了一种新型故障-安全温度监测系统，该系统可区分过高的化学吸附剂温度和温度传感组件故障。该系统防止了气体纯化器由于温度传感组件故障而停机，从而防止了高纯气体生产设备的错误停机。

主权项

一种用于区分设备故障与气体纯化器床内潜在的灾难性放热反应的方法，包括：在纯化器床内的不同位置提供一个或多个双温度传感器，其中，第一组温度测量设备紧靠相应的构成每一独立的双温度传感器一部分的第二组温度测量设备放置；对每一独立的双温度传感器选择第一和第二温度测量设备之间的第一预定温度差；如果超过了所述第一预定温度差则触发警报，以使操作者修复独立的双温度传感器中的单个温度测量设备的故障；选择第二预定设定点的温度，当所述双温度传感器中任一温度测量设备超过所述第二预定设定点的温度时，同时未超过所述第一预定温度差时，指示给操作者会发生潜在的灾难性放热反应。