一种硼纳米颗粒的制备方法

摘要

本发明公开了一种硼纳米颗粒的制备方法，向等离子体腔中通入含有惰性气体及含硼气源的混合气体，使用射频源激发该混合气体，使所述的含硼气源发生分解反应，生成硼纳米颗粒，所述的硼纳米颗粒由气流携带出等离子体腔进行分离收集。本发明利用等离子体技术制备硼纳米颗粒的方法，具有以下有益效果：(1)尺寸在1到100纳米范围内可调，且尺寸分布的标准偏差小于其平均尺寸的30％；(2)颗粒表面为氢钝化，硼纳米颗粒的纯度≥99.99wt％；(3)生产工艺简单，便于实现规模化生产。

主权项

一种硼纳米颗粒的制备方法，其特征在于，包括：向等离子体腔中通入含有惰性气体及含硼气源的混合气体，使用射频源激发该混合气体，使所述的含硼气源发生分解反应，生成硼纳米颗粒，所述的硼纳米颗粒由气流携带出等离子体腔进行分离收集。