一种制备WO₃薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种制备WO3薄膜的方法，具体步骤如下：(1)水浴中将钨粉溶于双氧水中制得溶液X，其中钨粉的量与双氧水的量的比例为每100ml双氧水中添加10-25g钨粉，室温条件下水浴反应3-4h；(2)溶液X在51℃-55℃下搅拌反应25-30min，过滤；(3)按双氧水和无水乙醇2∶0.9-1.1的比例往溶液X加入无水乙醇，再在75-85℃下搅拌反应28-30min，静置橙色透明溶胶4-5个小时；(4)将经过清洗的ITO或FTO玻璃衬底浸渍在溶胶中100-140s，以4.5-5cm/min的速度提拉成膜；(5)所得基片75-85℃下烘干20-30min后再在180-220℃保温50-70min退火处理，得到WO3薄膜。本发明方法制备得到的WO3薄膜电致变色性能良好、循环稳定性好、表面光滑致密。

主权项

一种制备WO3薄膜的方法，包括以下步骤：(1)水浴中将钨粉溶于双氧水中制得溶液X，其中钨粉的量与双氧水的量的比例为每100ml双氧水中添加10‑25g钨粉，室温条件下水浴反应3‑4h；(2)溶液X在51℃‑55℃下搅拌反应25‑30min，过滤；(3)按双氧水和无水乙醇2∶0.9‑1.1的比例往溶液X加入无水乙醇，再在75‑85℃下搅拌反应28‑30min，静置橙色透明溶胶4‑5个小时；(4)将经过清洗的ITO或FTO玻璃衬底浸渍在溶胶中100‑140s，以4.5‑5cm/min的速度提拉成膜；(5)所得基片75‑85℃下烘干20‑30min后再在180‑220℃保温50‑70min退火处理，得到WO3薄膜。