将特征的重复图案写到基板

摘要

用于将特征（106、160）的重复图案写到诸如数据存储介质等基板（102、142）的方法（200、240）和装置（140、260）。根据一些实施例，要写入基板的不同大小（162、164、166、182、184、186、188、190、222、224、226、228、230）的离散特征的多维图案被分割为多个邻接的区域（206、232、244）。唯一的补偿值集合被分配给每一区域（208、246）。写系统（140、270）的写束被用于响应于所述唯一的补偿值集合将特征写到的基板，使得在至少一个区域中的具有相同大小的所有特性采用来自相关组（212、250）的相同的补偿值来写入。

主权项

一种方法，该方法包括：将要被写到基板的不同大小的离散特征的多维图案分割为多个邻接的区域；为每个区域分配唯一的补偿值集合；以及响应于所述唯一的补偿值集合，使用写系统的写束将特征写到基板，使得在至少一个区域中的具有相同大小的所有特征利用来自相关集合的相同的补偿值来写入。