一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置

摘要

本实用新型属于光学材料制备技术领域，具体涉及一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置。本装置包括炉体、配电柜、控制柜、真空系统和冷却系统，控制柜通过真空系统、冷却系统、炉体内部的传感器进行控制、报警及记录数据；真空系统与炉体相连，用于对炉体进行抽真空操作；冷却系统与炉体及真空系统相连，用于对炉体及真空系统进行冷却处理；配电柜为装置提供动力电源。本实用新型解决了现有技术中采用化学气相沉积方法制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料中波红外波段光谱透过特性差、生产效率低的技术问题；采用真空条件下物理气相沉积原理制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料，产品中波红外波段光谱透过特性好，显著提高了生产效率。

主权项

一种制备硒化锌/硫化锌叠层多晶光学材料的装置，包括炉体（4）和配电柜（5），其特征在于：还包括控制柜（1）、真空系统（2）和冷却系统（3），其中，控制柜（1）通过真空系统（2）、冷却系统（3）、炉体（4）内部的传感器对整个装置进行控制、报警及记录数据；真空系统（2）与炉体（4）相连接，用于对炉体（4）进行抽真空操作；冷却系统（3）与炉体（4）及真空系统（2）相连接，用于对炉体（4）及真空系统（2）进行冷却处理；配电柜（5）为整个装置提供动力电源。