发明名称 |
一种化学溶液沉积制备Gd<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>缓冲层的方法 |
摘要 |
本发明提供一种化学溶液沉积制备Gd2Zr2O7缓冲层的方法,其具体作法是:a、Gd2Zr2O7前驱溶液的制备:将适量的Gd(NO3)3.6H2O和ZrO(NO3)3.2H2O按照离子浓度Gd+3:Zr+4为1:1溶于羟乙基甲基醚中,加入氧化聚乙烯20000调节溶液的黏度,获得前驱溶液;b、湿膜的制备:将前驱溶液均匀涂覆在织构基带上,获得湿膜;c、干膜的制备:将湿膜进入干燥设备,去除薄膜中水份;d、分解成相:然后放入通有H2/Ar还原气氛的热处理炉内,先以1℃/min-5℃/min速率升温至350℃-600℃,让有机物和硝酸盐充分分解,后直接升温至成相高温区1100℃-1200℃,保温0.5-2小时,获得Gd2Zr2O7薄膜。该采用化学方法硝酸盐体系制作Gd2Zr2O7缓冲层成本低廉、工艺简单、操作容易控制、不污染环境,有利于大规模工业化生产。 |
申请公布号 |
CN102851655A |
申请公布日期 |
2013.01.02 |
申请号 |
CN201210318922.8 |
申请日期 |
2012.09.03 |
申请人 |
西南交通大学 |
发明人 |
雷鸣;赵勇;武伟;蒲明华;张勇 |
分类号 |
C23C20/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C20/08(2006.01)I |
代理机构 |
成都中亚专利代理有限公司 51126 |
代理人 |
王岗 |
主权项 |
一种化学溶液沉积制备Gd2Zr2O7缓冲层的方法,其特征在于:依次由以下步骤构成:a、Gd2Zr2O7前驱溶液的制备:将Gd (NO3)3.6H2O和ZrO(NO3)3.2H2O按照离子浓度Gd+3:Zr+4为1:1溶于羟乙基甲基醚中,加入氧化聚乙烯20000调节溶液的黏度,获得前驱溶液;b、湿膜的制备:将所获得的前驱溶液均匀涂覆在织构基带上,获得湿膜;c、干膜的制备:将湿膜进入恒温干燥设备,完全去除薄膜中水份;d、分解成相:放入通有H2/Ar还原气氛的热处理炉内,先在1℃/min‑5℃/min速率范围升温至350℃-600℃,让有机物和硝酸盐充分分解,后直接升温至成相高温区1100℃-1200℃,保温0.5-2小时,获得Gd2Zr2O7薄膜。 |
地址 |
610031 四川省成都市二环路北一段111号 |