发明名称 一种化学溶液沉积制备Gd<sub>2</sub>Zr<sub>2</sub>O<sub>7</sub>缓冲层的方法
摘要 本发明提供一种化学溶液沉积制备Gd2Zr2O7缓冲层的方法,其具体作法是:a、Gd2Zr2O7前驱溶液的制备:将适量的Gd(NO3)3.6H2O和ZrO(NO3)3.2H2O按照离子浓度Gd+3:Zr+4为1:1溶于羟乙基甲基醚中,加入氧化聚乙烯20000调节溶液的黏度,获得前驱溶液;b、湿膜的制备:将前驱溶液均匀涂覆在织构基带上,获得湿膜;c、干膜的制备:将湿膜进入干燥设备,去除薄膜中水份;d、分解成相:然后放入通有H2/Ar还原气氛的热处理炉内,先以1℃/min-5℃/min速率升温至350℃-600℃,让有机物和硝酸盐充分分解,后直接升温至成相高温区1100℃-1200℃,保温0.5-2小时,获得Gd2Zr2O7薄膜。该采用化学方法硝酸盐体系制作Gd2Zr2O7缓冲层成本低廉、工艺简单、操作容易控制、不污染环境,有利于大规模工业化生产。
申请公布号 CN102851655A 申请公布日期 2013.01.02
申请号 CN201210318922.8 申请日期 2012.09.03
申请人 西南交通大学 发明人 雷鸣;赵勇;武伟;蒲明华;张勇
分类号 C23C20/08(2006.01)I 主分类号 C23C20/08(2006.01)I
代理机构 成都中亚专利代理有限公司 51126 代理人 王岗
主权项 一种化学溶液沉积制备Gd2Zr2O7缓冲层的方法,其特征在于:依次由以下步骤构成:a、Gd2Zr2O7前驱溶液的制备:将Gd (NO3)3.6H2O和ZrO(NO3)3.2H2O按照离子浓度Gd+3:Zr+4为1:1溶于羟乙基甲基醚中,加入氧化聚乙烯20000调节溶液的黏度,获得前驱溶液;b、湿膜的制备:将所获得的前驱溶液均匀涂覆在织构基带上,获得湿膜;c、干膜的制备:将湿膜进入恒温干燥设备,完全去除薄膜中水份;d、分解成相:放入通有H2/Ar还原气氛的热处理炉内,先在1℃/min‑5℃/min速率范围升温至350℃-600℃,让有机物和硝酸盐充分分解,后直接升温至成相高温区1100℃-1200℃,保温0.5-2小时,获得Gd2Zr2O7薄膜。
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