| 发明名称 | 感光性树脂组合物、图案制造方法及电子部件 | ||
| 摘要 | 一种感光性聚合物组合物，含有(a)具有如下述通式(I)【化1】<img file="dda00001961322800011.GIF" wi="1184" he="250" />所示的重复单元的聚酰胺(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团，p表示重复单元数的整数)；(b)经光照产生酸的化合物；及(c)如下述通式(II)【化2】<img file="dda00001961322800012.GIF" wi="1160" he="236" />所示的化合物(式中，m及n各自分别为1或2的整数；R各自分别为氢、烷基或酰基：R<sup>1</sup>及R<sup>2</sup>各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。 | ||
| 申请公布号 | CN102854745A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201210272318.6 | 申请日期 | 2004.12.16 |
| 申请人 | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 | 发明人 | 大江匡之;小松博;津丸佳子;川崎大;加藤幸治;上野巧 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/022(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;G03F7/40(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 纪晓峰 |
| 主权项 | 1.一种感光性聚合物组合物，包括：(a)具有如下述通式(I)所示的重复单元、且在末端具有酚性羟基的聚酰胺；【化1】<img file="FDA00001961322500011.GIF" wi="1182" he="249" />(式中，U表示4价有机基团、V表示2价有机基团、p为表示重复单元数的整数)(b)经光照产生酸的化合物：以及(c)如下述通式(II)所示的化合物，【化2】<img file="FDA00001961322500012.GIF" wi="1160" he="230" />(式中，m为2，n为1；R各自分别为氢、甲基或乙基；R<sup>1</sup>及R<sup>2</sup>各自分别表示碳原子数1～3的氟代烷基)。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||