CMP垫修整器

摘要

一种磨料刀具(112)，包括刀具前体组件(116)。刀具前体中的至少一个具有被形成为刀片形状的连续多晶金刚石、多晶立方体氮化硼或陶瓷材料的切割元件(18)。该磨料刀具可以另外包括装配材料(68)，其被配置为连接刀具前体并形成单个块。该刀具前体的选择、设置和装配可以导致具有预定切割构造的磨料刀具。形成这种磨料刀具的方法也被公开了。

主权项

一种磨料刀具，包含：刀具前体构成的组件，所述刀具前体包括在其表面上具有被形成为刀片形状的连续切割元件的至少一个细长衬底，且所述连续切割元件由多晶金刚石、多晶立方体氮化硼或陶瓷制成；以及装配材料，所述装配材料被配置为连接所述刀具前体成为形成预定切割构造的单个块。