反射折射投影物镜

摘要

一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，将提供在物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，将第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，将第二中间图像成像到像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在物面和第一中间图像之间，第二光瞳面形成在第一中间图像和第二中间图像之间，第三光瞳面形成在第二中间图像和像面之间；在第一物镜部分中第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板，其中至少一个板表面被非球面化用于校正像差。

主权项

一种反射折射投影物镜，用于将提供在投影物镜物面中的图形成像到投影物镜的像面上，包括：第一物镜部分，用于将提供在所述物面中的图形成像为第一中间图像；第二物镜部分，用于将所述第一中间图像成像为第二中间图像；第三物镜部分，用于将所述第二中间图像成像到所述像面上；其中具有第一连续镜面的第一凹面镜和具有第二连续镜面的至少一个第二凹面镜布置在所述第二中间图像的上游；第一光瞳面形成在所述物面和所述第一中间图像之间，第二光瞳面形成在所述第一中间图像和所述第二中间图像之间，并且第三光瞳面形成在所述第二中间图像和所述像面之间；并且在所述第一物镜部分中所述第一光瞳面附近放置至少一个具有基本平行板表面的板，其中至少一个板表面被非球面化，用于校正像差，所有凹面镜布置在光学远离光瞳面的位置，在这些位置处主光线高度超过成像过程的边缘光线高度。