采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法

摘要

本发明公开了一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，包括：在c-面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在c-面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性。本发明的优点是不需要插入缓冲层，不需要对衬底进行特别的预处理，操作简便，重复性好。

主权项

一种采用金属源化学气相沉积技术制备极性可控氧化锌的方法，其特征在于，包括：在c‑面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜；对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温；去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜；以及在c‑面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜；其中，在降温过程中进行原位退火处理得到的是锌极性，进行直接快速降温得到的是氧极性；所述在c‑面蓝宝石衬底上生长一层氧化锌膜及在c‑面蓝宝石衬底上进行第二次生长一层氧化锌膜，在生长时，衬底温度为795℃，锌舟温度为720℃，H2O鼓泡瓶温度50℃；生长开始时，Zn比H2O先通入30秒；气体流量为：Zn和H2O载气分别为0.4和3L/min，总流量9.4L/min；在该条件下，生长速率约为120‑140μm/h；所述对生长有氧化锌膜的蓝宝石衬底进行降温，采用原位退火处理，在第一次生长氧化锌膜3分钟后进行原位退火，在810‑815℃退火10分钟，冷却后取出；或者采用直接快速降温，在第一次生长氧化锌膜后，采用速率为7℃/min进行直接快速降温，冷却后取出；所述去掉蓝宝石衬底上生长的氧化锌膜的步骤中，氧化锌膜被HNO3溶解去除。