一种18对棒的多晶硅还原炉的排布方式和连接方法

摘要

本发明公开了一种18对棒的多晶硅还原炉的排布方式和连接方法。还原炉包括还原炉底盘、还原炉炉体、还原炉顶盘、18对电极、进气口、出气口，18对电极固定在底盘上且分三层排布，最外层有9对电极，最内层有3对电极，中间一层有6对电极，每一层电极都成正六边形排布，这种布局方式更密集、更均匀，充分利用了还原炉内的空间生产多晶硅，提高了还原炉单炉产量。还原炉底盘和顶盘都布置了一样的通气口数，以实现还原炉底盘进气-顶盘出气和顶盘进气-底盘出气两种进气方式的周期性变换，避免了进料混合气走短路，消除了还原炉内的死区，便于尾气的温度的调控，大大提高进料混合气的转化率和还原炉的单炉产量。

主权项

一种18对棒的多晶硅还原炉的排布方式，其特征是还原炉底盘均匀的分布着18对电极、96个通气口和1个中心切换通气口，还原炉顶盘均匀分布96个通气口、1个中心切换用通气口；还原炉底盘上电极分为3层，按正六边形排布，从中心向外依次按3对、6对和9对均匀分布，且每相邻三根电极以正三角形排布；还原炉底盘上以正三角形排布的相邻三根电极的中心处设有一通气口，每一根电极的周围均匀排布六个通气口，六个通气口位于该电极为中心的成正六边形顶点处。