| 发明名称 | 具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种去除氧及水分来提供清洁的工序环境的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，上述手套箱包括：过滤机构（110），设置于在手套箱所具备的工序腔室（B）的上部及下部所设置的上部构造物（A）及下部构造物（C），使工序腔室（B）的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构（120），设置于上部构造物（A），去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构（130），为了进行工序作业而设置于工序腔室（B）。 | ||
| 申请公布号 | CN102859644A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201080053769.X | 申请日期 | 2011.10.02 |
| 申请人 | 莫泰克有限公司 | 发明人 | 金哲永 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括：过滤机构（110），设置于在上述手套箱所具备的工序腔室（B）的上部及下部所设置的上部构造物（A）及下部构造物（C），使上述工序腔室（B）的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构（120），设置于上述上部构造物（A），去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构（130），为了进行工序作业而设置于上述工序腔室（B）。 | ||
| 地址 | 韩国大田 | ||