衬底承载装置

摘要

本发明公开了一种衬底承载装置，它包括可旋转的衬底承载器，所述衬底承载器表面设有用于容置衬底的定位槽，所述定位槽槽壁包括与衬底的定位平边配合的平边结构，所述定位槽内还设有用于防止衬底定位平边的两端部与定位槽槽壁触碰的定位缓冲机构，藉此设计，本发明可有效防止衬底定位平边两端与衬底承载器发生碰撞，进而防止衬底破损。进一步的，通过将定位槽按照平边结构朝向衬底承载器旋转方向的方式放置，并且使平边结构和衬底承载器中心的连线与衬底承载器的旋转方向垂直，更可使得撞击行为主要发生在整个衬底定位平边与定位槽的平边结构之间，从而可更为有效的防止衬底受损。本发明可被广泛应用于MOCVD等半导体器件生产设备中。

主权项

一种衬底承载装置，包括可旋转的衬底承载器，所述衬底承载器表面设有用于容置衬底的定位槽，且至少一个所述定位槽槽壁包括与衬底的定位平边配合的平边结构，其特征在于，所述定位槽内还设有用于防止衬底定位平边的两端部与定位槽槽壁触碰的定位缓冲机构。