发明名称 |
一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控装置 |
摘要 |
本实用新型涉及一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控装置,该装置包括采集电路系统与计算机终端,所述的采集电路系统由数据采集单元、数据运算处理单元以及数据输出单元构成,所述的数据采集单元与电场辅助掩埋光波导工艺的电路连接;所述的数据运算处理单元连接数据采集单元和数据输出单元,所述的数据输出单元连接计算机终端。与现有技术相比,本实用新型具有方法实现简单,控制精度高,可以控制任意过程的电场辅助离子交换工艺等优点。 |
申请公布号 |
CN202649508U |
申请公布日期 |
2013.01.02 |
申请号 |
CN201220238094.2 |
申请日期 |
2012.05.24 |
申请人 |
上海光芯集成光学股份有限公司 |
发明人 |
郑伟伟;王毅强;商惠琴;王明华;杨建义;郝寅雷 |
分类号 |
G02B6/134(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/134(2006.01)I |
代理机构 |
上海科盛知识产权代理有限公司 31225 |
代理人 |
蒋亮珠 |
主权项 |
一种电场辅助掩埋光波导的工艺监控装置,其特征在于,该装置包括采集电路系统与计算机终端,所述的采集电路系统由数据采集单元、数据运算处理单元以及数据输出单元构成,所述的数据采集单元与电场辅助掩埋光波导工艺的电路连接;所述的数据运算处理单元连接数据采集单元和数据输出单元,所述的数据输出单元连接计算机终端。 |
地址 |
200072 上海市闸北区广中西路777弄14号102室 |