光位移传感器和机械手

摘要

使光位移传感器具有：金属管（114），其一端被封闭；金属管（112），其与金属管（114）具有嵌套构造的关系，可以引导金属管（114）在其长度方向上移动；光源（122）和光纤（118），它们向金属管（114）内部提供光；以及光功率计（124），其检测来自金属管（114）内部的反射光量的变化。金属管（114）沿着其长度方向具有狭缝（132），光功率计（124）检测来自金属管（114）内部的反射光量的变化，该反射光量的变化是由伴随金属管（114）的长度方向上的移动而产生的狭缝（132）的开口量的变化所引起的。

主权项

一种光位移传感器，其特征在于，该光位移传感器具有：第1筒状部件，其一端被封闭；第2筒状部件，其在所述第1筒状部件的另一端，与所述第1筒状部件具有嵌套构造的关系，能够引导所述第1筒状部件在其长度方向上移动；光供给部件，其保持于所述第2筒状部件；开口部，其沿着所述筒状部件的长度方向设置在所述第1筒状部件或所述第2筒状部件上，配置在开口量随着所述第1筒状部件的移动而变化的位置；以及传感器部，其检测来自所述筒状部件内部的反射光量的变化。