| 发明名称 | 化学液混合装置及方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种化学液混合装置及方法，所述化学液混合装置包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。本发明提供的化学液混合方法及装置，可以有效解决现有半导体工艺设备中存在的补液不均匀问题，结构简单，易于实现。 | ||
| 申请公布号 | CN102847480A | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201210350984.7 | 申请日期 | 2012.09.19 |
| 申请人 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 发明人 | 何金群;刘福生;王锐廷;裴立坤 |
| 分类号 | B01F13/10(2006.01)I;B01F3/08(2006.01)I | 主分类号 | B01F13/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种化学液混合装置，其特征在于，包括：化学液返回管、化学液回收管、补充液输出管第一混合器和第二混合器，所述化学液返回管、化学液回收管和补充液输出管的输出端连接为一个第一输出端；所述第一混合器与第一输出端连接；所述第二混合器通过液体输送管与第二混合器连接。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层 | ||