用于检查晶体缺陷结构的方法和系统

摘要

提供用于检查晶体缺陷结构的方法和系统的实施方式。在方法中，尤其易受由晶体缺陷引起的衍射影响的X射线波长被识别。然后，提供X射线源发出被识别的X射线波长的X射线。当将结构设置在相对于X射线源的一系列位置时，使多个非平行阵列的X射线照射该结构，产生衍射X射线的系列图案。数字化捕获衍射X射线的图案并传送给计算机，计算机比较他们来定位晶体缺陷。对于表面缺陷，可使用目标物标记缺陷以允许物理移除。

主权项

一种检查结构(30)的方法，包括：配置X射线源(12)以发射预定X射线波长的X射线(16)；将所述结构设置于相对于X射线源的多个位置(31)；对于每个位置，使预定X射线波长的X射线的非平行列阵朝向所述结构照射，用于由晶体缺陷(32)衍射来产生衍射X射线(36)的图案(38)；捕获衍射X射线的每个图案；并且互相比较每个捕获到的衍射X射线的图案以定位所述晶体缺陷。