一种电子级三氯氢硅纯度评价装置

摘要

本实用新型涉及一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，该装置包括底盘及置于所述底盘上的带有冷却水夹套的钟罩、置于所述带有冷却水夹套的钟罩内的钽丝和穿过所述底盘且连有电源的一对电极。所述带有冷却水夹套的钟罩的顶部分别设有吊耳、钟罩冷却水出水口，其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口、视镜；所述一对电极通过所述钽丝连接在一起；所述一对电极的外侧分别设有反应气体进气管口、反应气体出气管口，该反应气体进气管口和反应气体出气管口穿过所述底盘与所述带有冷却水夹套的钟罩腔体相通。本实用新型结构简单、成本低廉，可以达到快速、准确测纯的目的，并实现了安全操作。

主权项

一种电子级三氯氢硅纯度评价装置，其特征在于：该装置包括底盘（6）及置于所述底盘（6）上的带有冷却水夹套的钟罩（3）、置于所述带有冷却水夹套的钟罩（3）内的钽丝（5）和穿过所述底盘（6）且连有电源的一对电极（8）；所述带有冷却水夹套的钟罩（3）的顶部分别设有吊耳（1）、钟罩冷却水出水口（2），其侧壁分别设有钟罩冷却水进水口（10）、视镜（11）；所述一对电极（8）通过所述钽丝（5）连接在一起；所述一对电极（8）的外侧分别设有反应气体进气管口（7）、反应气体出气管口（9），该反应气体进气管口（7）和反应气体出气管口（9）穿过所述底盘（6）与所述带有冷却水夹套的钟罩（3）腔体相通。