| 发明名称 | 一种蓝宝石衬底 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种蓝宝石衬底，包括衬底本体，所述的衬底本体正面粗糙度小于等于0.15nm。采用本实用新型表面粗糙度≤0.15nm，表面无加工应力，无表面损伤层和亚表面损伤层，GaN异质外延的结晶质量高，外延生长的GaN半高宽达到20弧秒以下。 | ||
| 申请公布号 | CN202643907U | 申请公布日期 | 2013.01.02 |
| 申请号 | CN201220212592.X | 申请日期 | 2012.05.11 |
| 申请人 | 江苏鑫和泰光电科技有限公司 | 发明人 | 石剑舫 |
| 分类号 | C30B25/18(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 主分类号 | C30B25/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人 | 路接洲 |
| 主权项 | 一种蓝宝石衬底，包括衬底本体，其特征在于：所述的衬底本体正面粗糙度小于等于0.15nm。 | ||
| 地址 | 213000 江苏省常州市武进区前黄镇寨桥村 | ||