氰基金刚烷化合物和聚合物

摘要

提供了氰基金刚烷化合物，含有该化合物聚合的单元的聚合物，和含有这些聚合物的光致抗蚀剂组合物。优选的本发明的化合物用于在250nm以下的波长，例如248nm和193nm波长成像的光致抗蚀剂。

主权项

1.一种聚合物，其特征在于，该聚合物含有金刚烷基，在所述金刚烷基的环上2或4位被氰基取代，所述聚合物按总聚合物单元计算含有至少1摩尔％氰基金刚烷基，平均分子量为800-100,000，其中，所述聚合物含有下列式V的结构：其中A和B中的至少一个含有氰基金刚烷基，另一个或两个聚合物基团可以是不同的聚合物单元，包含光酸不稳定的基团、酸酐或内酯、反差增强基团、抗蚀增强基团、或者含有脂环基团的聚合的酯；R¹、R²和R³分别是氢或可任选取代的C_1-6烷基；和x、y和z是各重复单元基于总聚合单元的摩尔百分数，x和y分别大于0，z是0或大于0。