蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置

摘要

本实用新型公开了一种蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，解决了现有技术中存在的减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差的方式花费时间较长，同心度重复性较差，不利于批量生产的问题。该蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置包括晶圆棒毛坯套筒，与晶圆棒毛坯套筒中心同轴且上下相连的夹持装置套筒，所述夹持装置套筒上还设置有紧固螺栓。本实用新型不仅结构简单、实施方便，而且能实现快速精确定位，具有很高的实用价值。

主权项

蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置，其特征在于，包括晶圆棒毛坯套筒（1），与晶圆棒毛坯套筒（1）中心同轴且上下相连的夹持装置套筒（2），设置于夹持装置套筒（2）上的紧固螺栓（3）。