高温压力与温度的复合传感器及制备方法

摘要

一种高温压力与温度的复合传感器及制备方法，它是在本发明人的在先专利“硅蓝宝石力敏传感器及其制备方法”的结构基础上改进的，在制作有硅应变电阻的同一蓝宝石晶片上的非应力区一隅制作与应变电阻引线铂焊盘同质的铂热敏电阻及内引线的铂焊盘，采用焊接金属箔条代替原弹性金属触头或其他形式的内引线，制成抗强振动，抗大加速度的高温压力与温度复合传感器。它解决了现有技术存在的满足不了同点测量压力与温度的高可靠性问题，该高温压力与温度的复合传感器不仅保留现有硅蓝宝石力敏传感器的优点，而且与同类产品相比，具有制造工艺更加合理，操作快捷，相对成本低，生产效率高的特点，显著提高了在恶劣条件下测量的高可靠性。

主权项

一种高温压力与温度的复合传感器，包括利用静电封接或分子键合在一起的蓝宝石晶片与钛合金应力杯、外引线及钛合金外壳，以钛合金应力杯对称轴中心定位，在应力区制作硅应变电阻和非应力区设置铂热敏电阻，其特征在于：在所述蓝宝石晶片上的应力区制作有硅应变电阻和铂焊盘，在同一蓝宝石晶片上的非应力区一隅设置有铂热敏电阻，焊接在钛合金应力杯上的钛固定爪的内腔利用银铜焊层封接有带印刷电路的蓝宝石制作的绝缘引线转换板，作为内引线的钯银金属箔条一端焊接在分别与硅应变电阻及铂热敏电阻连接的铂焊盘上，钯银金属箔条另一端与固定有外引线的绝缘引线转换板焊接在一起；绝缘引线转换板上的印刷电路是这样制作的：首先预制绝缘引线转换板，再将这个绝缘引线转换板上的引线、穿线孔及与钛固定爪封接表面，全部进行钨钼金属化厚膜工艺处理，在钨钼金属化膜层上，印制钯银引线浆料，在真空、900℃下烧结，于绝缘引线转换板的钨钼金属化膜层上制作内外引线所要的钯银引线焊盘、穿线孔、引线，形成完整的印刷电路。