玻璃基板清洁装置及方法

摘要

本发明系提供一种玻璃基板清洁装置及方法，清洁装置由一座体、设于二侧之第一纵向移动机构与第二纵向移动机构、设于内侧之刀片固定机构与擦拭布固定机构、及设于内侧之上片工作平台、下片工作平台与一翻转机构所组成；使用时，将玻璃基板放置于上片工作平台上并抽吸住，然后对玻璃基板之第一面施以清除静电与粉尘、无尘布擦拭、刮刀刮除、无尘布擦拭、清除静电之清洁步骤，再由翻转机构将玻璃基板翻转至下片工作平台上并抽吸住，然后对玻璃基板之第二面施以相同之清洁步骤。