| 摘要 |
具备：基板保持部(2)，其系将晶圆(W)保持于水平，且可与晶圆(W)一起旋转；环状的旋转杯(4)，其系以能够围绕被保持于基板保持部(2)的晶圆(W)之方式呈环状，且可与晶圆(W)一起旋转；旋转机构(3)，其系使旋转杯(4)及基板保持部(2)一体旋转；喷嘴(5)，其系供给晶圆(W)的处理液及旋转杯(4)的洗净液；液供给部(85)，其系供给处理液及洗净液至喷嘴(5)；喷嘴移动机构，其系使喷嘴(5)移动于对晶圆(W)吐出液的第1位置与对旋转杯(4)的外侧部份吐出液的第2位置之间，在使喷嘴(5)位于晶圆处理位置之状态下进行晶圆(W)的液处理，且在使喷嘴(5)位于旋转杯洗净位置的状态下吐出洗净液至旋转杯的外侧部份。 |
