有机ＥＬ元件的制造方法及制造装置

摘要

一种有机EL元件的制造方法及制造装置，具有：成膜基板上的下部电极等的前处理工序(S1)；在该前处理工序(S1)之后，在下部电极上至少成膜具有有机发光功能层的有机层和上部电极的成膜工序(S2)；在成膜工序(S2)之后，密封有机层和上部电极的密封工序(S3)，在从前处理工序(S1)之后到上部电极形成之前进行检查工序(SS)。由此，消除有机EL元件因有机层的成膜不良造成的色度偏差，改善成品率。