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发明名称
真空器件的封接方法
摘要
一种真空器件的封接方法,其包括以下步骤:提供一预封接器件,所述预封接器件包括一壳体以及一设置于该壳体上的排气孔;提供一封接盖,并于该封接盖的一表面形成一低熔点玻璃粉层;将所述封接盖形成有低熔点玻璃粉层的一面对应于排气孔,且与排气孔间隔一定距离设置;对上述预封接器件进行抽真空;加热软化该低熔点玻璃粉层,使封接盖封住排气孔;以及降温凝固,使上述封接盖与预封接器件结合。
申请公布号
TWI381492
申请公布日期
2013.01.01
申请号
TW097119112
申请日期
2008.05.23
申请人
鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号
发明人
柳鹏;陈丕瑾;郭彩林;杜秉初;刘亮;范守善
分类号
H01L23/10;H01L23/02
主分类号
H01L23/10
代理机构
代理人
主权项
地址
新北市土城区自由街2号
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