发明名称 真空器件的封接方法
摘要 一种真空器件的封接方法,其包括以下步骤:提供一预封接器件,所述预封接器件包括一壳体以及一设置于该壳体上的排气孔;提供一封接盖,并于该封接盖的一表面形成一低熔点玻璃粉层;将所述封接盖形成有低熔点玻璃粉层的一面对应于排气孔,且与排气孔间隔一定距离设置;对上述预封接器件进行抽真空;加热软化该低熔点玻璃粉层,使封接盖封住排气孔;以及降温凝固,使上述封接盖与预封接器件结合。
申请公布号 TWI381492 申请公布日期 2013.01.01
申请号 TW097119112 申请日期 2008.05.23
申请人 鸿海精密工业股份有限公司 新北市土城区自由街2号 发明人 柳鹏;陈丕瑾;郭彩林;杜秉初;刘亮;范守善
分类号 H01L23/10;H01L23/02 主分类号 H01L23/10
代理机构 代理人
主权项
地址 新北市土城区自由街2号