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发明名称
半导体晶片分类装置
摘要
提供一种半导体晶片分类装置,其包括:多个旋转臂,可同时位于晶片载置部和集料块上;多个拾取器,分别上下移动地结合在上述多个旋转臂上。拾取器在晶片载置部拾取半导体晶片,且将拾取的半导体晶片移送到对应等级的集料块,以进行分类;以及旋转部,利用由旋转电机提供的驱动力使上述旋转臂向一个方向旋转。根据本发明,可以缩短分类工序所需的工作时间,同时减少施加在旋转电机上的负载,在持续的使用中也可以进行精密的控制,可以提高半导体晶片的分类工序的效率和准确性。
申请公布号
TWI381458
申请公布日期
2013.01.01
申请号
TW096140846
申请日期
2007.10.30
申请人
QMC股份有限公司 南韩
发明人
张铉三;金胜圭
分类号
H01L21/50;H01L21/66
主分类号
H01L21/50
代理机构
代理人
祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项
地址
南韩
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