吸附装置

摘要

本发明系关于一种吸附装置，连接一低气压源，并用以吸附一基板。吸附装置包含一吸附本体及一气压控制装置。吸附本体包含一平面及复数孔洞，其中平面具有一分布范围，并适以与基板接触。该等孔洞系形成于平面上并实质上平均分布于平面之分布范围内。气压控制装置依控制气动连接低气压源与该等孔洞。当基板与平面接触并且气压控制装置气动连接该等孔洞与低气压源时，基板与吸附本体相互稳固。