制备金属氮化物膜之方法

摘要

一种制备金属氮化物膜之方法，系先将一靶材与一基材置入一真空腔体中，该靶材系由钛或锆所制成；接着，再利用溅镀法于该基材表面形成一金属氮化物膜，该金属氮化物膜系氮化钛膜或氮化锆膜，其中，真空腔体之工作压力固定于5×10－4~5×10－2torr，通入空气与氩气于该真空腔体中，空气/氩气之流量比为(5~15)/100，以一电源供应器提供输出功率为100~5000 W之直流电，由于空气之取得极为方便，且背景真空度之要求较知方法为低，使本发明所提供之方法具有设备简易、制程快速、成本低廉等优点。