基板载置台、具备其之溅镀装置及成膜方法

摘要

一种基板载置台，其系配置于真空容器内，具有载置基板之基板载置面，且具备对于前述基板施加磁场之第1磁场施加机构，前述第1磁场施加机构之内部之磁化方向与前述基板之厚度方向一致。