流量检定故障诊断装置、流量检定故障诊断系统、流量检定故障诊断方法以及电脑可读取媒体产品

摘要

一种流量检定故障诊断装置，包括气体供应管线系统以及故障诊断装置。气体供应管线系统包括复数流量控制装置以及一流量检定单元。流量检定单元根据压力量测装置测得之压力透过量测每个流量控制装置的流量来侦测流量异常。故障诊断装置具有一模式于流量检定单元侦测到流量异常时诊断压力量测装置中的故障，因而改善流量检定的可靠度。