具有掺杂金属位置之介电电荷补获材料

摘要

本发明描述具有植入金属位置的介电材料及其制造方法。这种材料适于作为用于记忆体器件之非挥发记忆体单元之电荷捕获节点而使用。藉由使用一氨电浆及一与该电浆接触的金属源将金属位置并入于介电电荷捕获材料中，可促进改良之程式化及抹除电压。