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发明名称 System for preventing contaminants from reaching a gas purifier
摘要 The present invention is directed to the prevention of an exothermic reaction in the gas purifier of an ultra-high purity gas system.
申请公布号 US8343262(B2) 申请公布日期 2013.01.01
申请号 US201113157708 申请日期 2011.06.10
申请人 PRAXAIR TECHNOLOGY, INC.;SCHULTE THOMAS ROBERT;HAWKE MICHAEL HENRY;PACE KEITH RANDALL;BERGMAN, JR. THOMAS JOHN;WARRICK BRIAN DONALD;DI SANTO SANDRO;BOYER RICK 发明人 SCHULTE THOMAS ROBERT;HAWKE MICHAEL HENRY;PACE KEITH RANDALL;BERGMAN, JR. THOMAS JOHN;WARRICK BRIAN DONALD;DI SANTO SANDRO;BOYER RICK
分类号 B01D53/02 主分类号 B01D53/02
代理机构 代理人
主权项
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