método de deposição de vapor quìmico para depositar um revestimento de óxido de zinco sobre um substrato

摘要

MéTODO DE DEPOSIçãO DE VAPOR QUìMICO PARA DEPOSITAR UM REVESTIMENTO DE OXIDO DE ZINCO SOBRE UM SUBSTRATO A invenção aqui descrita e reivindicada se refere a um processo de deposição de vapor químico, para depositar um revestimento de óxido de zinco sobre um substrato, através do fornecimento de duas correntes de precursores gasosos a uma superfície do substrato, e misturação das correntes de precursores gasosos na superfície do substrato por um tempo curto o suficiente, a fim de formar um revestimento de óxido de zinco a uma taxa de deposiçã superior a 5 nm/s.