APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE AND METHOD OF INSPECTING SUBSTRATE
摘要
<p>보다 신속 정확하고 효율적인 자동검사가 가능한 기판검사장치 및 기판검사방법이 필요하다. 이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 기판검사장치는, 기판에 제1광을 조사하는 제1광원, 기판에 제2광을 조사하는 제2광원, 제2광을 산란시키도록 제2광의 광경로상에 마련된 산란판, 기판에서 반사된 제1광을 수광하는 제1카메라 및 산란판을 통과하고 기판에서 반사된 제2광을 수광하는 제2카메라를 포함한다.</p>
