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发明名称 APPARATUS FOR INSPECTING SUBSTRATE AND METHOD OF INSPECTING SUBSTRATE
摘要 <p>본 발명에 따른 기판검사방법은, (a) 조명광을 기판의 검사지점에 조사하는 단계 및 (b) 기판의 표면에 대한 제1검사각에서 제1카메라로 검사지점을 검사하고, 기판의 표면에 대한 제1검사각과 다른 제2검사각에서 제2카메라로 검사지점을 검사하는 단계를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101217174(B1) 申请公布日期 2012.12.31
申请号 KR20100038570 申请日期 2010.04.26
申请人 发明人
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G02F1/13 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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